• 氦質譜檢漏儀

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    A530氦質譜檢漏儀

    A530氦質譜檢漏儀

    詳細介紹

    A530 描述

    A530 移動式氦質譜檢漏儀(Helium Mass Spectrometer Leak Detector),是一款大抽速(前級泵抽速30 m3/h),低維護、高靈敏度、操作便捷的干泵檢漏儀。A530 氦質譜檢漏儀輕松檢漏,使您放心得到快速準確可靠的測試結果。產品廣泛應用于科研院所、航空航天、半導體、半導體氣柜,光伏等行業。


    功能特點

    大抽速前級泵,工作效率高

    支持正壓檢漏,負壓檢漏

    優化設計的質譜系統和智能算法確保在所有量程快速響應

    自動跟蹤本底功能,提供快速可靠的測量結果

    高可靠性的真空系統和質譜系統確??焖偾搴?/span>

    機器卓越的性能支持7*24 小時長時間在線測試

    雙銥絲離子源,系統設計有效的防大氣沖擊功能

    配有檢漏口精細過濾器,過濾細微雜質,確保機器不受雜質影響和損傷

    支持氮氣破空,不受環境氦氣干擾,快速降低本底有可便捷更換過濾器


    技術參數

    Z小可檢漏率(負壓模式)            5×10-13Pa?m3/s 

    Z小可檢漏率(正壓模式)            5×10-9Pa?m3/s

    檢漏口壓強           粗檢        1500Pa

                      中檢        200Pa

                      精檢        40Pa

    響應時間                       <0.5s

    啟動時間                       ≤2min

    前級油泵抽速                     30m3/h(8.3L/s)  

    外形尺寸(W×D×H)                780×420×1100

    重量                          110Kg




    常見泄漏率

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    檢漏方法示意圖

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    相關標簽: 氦質譜檢漏儀,檢漏儀,HeliumMassSpectrometerLeakDetector

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