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    氦質譜檢漏儀的進展及其應用

    氦質譜檢漏儀的進展及其應用

    1.氦質譜檢漏儀的進展


    經過近半個世紀的努力,今天的氦質譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。


    集中體現在如下幾個方面:


    (1)便攜式:Z近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。


    (2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數百帕左右,對檢測大系統和有大漏的工件很有益。


    (3)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調節零點,量程自動轉換,自動數據處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。


    (4)全無油的干式檢漏:有些國家生產的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。


    (5)檢漏范圍寬:現今生產的四極檢漏儀,質量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。


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