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    氦氣檢漏儀

    氦氣檢漏儀

    氦氣檢漏儀氦質譜檢漏儀((Helium Mass Spectrometer Leak Detector)的俗稱,運用質譜原理制成的儀器稱為質譜計或質譜儀。質譜儀通過其核心部件質譜室,使不同質量的氣體變成離子并在某種場中運動后,不同質荷比的離子在場中彼此分開,而相同質荷比的離子在場中匯聚在一起,如果在適當位置安置接收器接收所有這些離子,就會得到按照質荷比大小依次分開排列的質譜圖,這就是質譜。

    用于檢漏的質譜儀稱為質譜檢漏儀。測量氣體分壓力的所有質譜計,如四極質譜計、射頻質譜計、飛行時間質譜計、回旋質譜計等都可以用于檢漏。

    專門設計的以氦氣作示蹤氣體進行檢漏的質譜儀稱為氦質譜檢漏儀。這種儀器除靈敏度高外,還具有適應范圍廣、定位定量準確、無毒、安全、反應速度快等優點。氦質譜檢漏儀中用得Z多的是90°和180°的磁偏轉型質譜儀。

    眾所周知,當一個帶電質點(正離子)以速度v進入均勻磁場的分析器中,如果速度v的方向和磁場H的方向相垂直,則它的運動軌跡為圓,如圖1所示。當磁場的磁通密度一定時,不同質荷比(m/e)的離子在磁場中都有相應的運輸半徑,也就是都有相應的圓軌跡,這樣,不同質荷比的帶電粒子在磁場分析器中運動后就會彼此分開。如果在離大運動的路徑中安置一塊檔板將其他離子檔掉,而在對應的氦離子運動半徑位置的檔板上開一狹縫,狹縫后安置離子接收極,這樣的只有氦離子才能通過狹縫而被接收極接收形成氦離子流,并經放大器放大后由測量儀表指示出來。檢漏時,如果用氦氣噴吹漏孔,氦氣便通過漏孔進入檢漏儀的質譜室中,使檢漏儀的測量儀表立即靈敏地反應出來,達到了檢漏的目的。


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