• 氦質譜檢漏儀

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    真空檢漏的一些基本概念

    真空檢漏的一些基本概念

    真空檢漏工作針對的就是漏氣,也叫實漏,是指氣體通過真空系統上的漏孔或間隙,從高壓側流向低壓側。有實漏,然后對應的有一個虛漏,它是指泄漏的氣體是由于材料放氣、解吸、凝結氣體的再蒸發或系統內的死空間氣體流出等原因使真空系統或容器壓力升高,這也是真空檢漏工作需要排除的。真空檢漏的方法很多,氦質譜檢漏儀的使用大大提升了檢漏工作效率。

    此外其他的一些基本概念

    氣密性是指真空系統或容器壁對空氣不可滲透程度的一種性能表征;

    漏孔是指真空器壁上存在的形狀不定、極其微小的空洞或間隙。大氣通過其進入真空系統或容器中;

    漏率(漏氣速率),是指單位時間內通過漏孔或間隙流入到真空系統或容器的氣體量;

    Z小可檢漏率,是指采用某種檢漏方法或儀器可能檢測出來的Z小漏率;

    檢漏靈敏度,也叫有效靈敏度,指檢漏儀器在Z佳工作狀態下能檢出的Z小漏率;

    反應時間,也稱響應時間,是指從檢漏方法開始實施(如噴射示漏氣體)到指示方法或儀器指示值上升到其Z大值的63%時所需要的時間;

    消除時間,是指從檢漏昂發停止(如停止噴吹示漏氣體)到指示方法或儀器指示值下降到停止值的37%時所需的時間;

    漏孔堵塞現象,指由于真空檢漏作業操作不當導致塵?;蛞后w堵塞漏孔,檢漏時似乎不漏氣,但一經排氣就會出現漏氣的一種現象。


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