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    氦質譜檢漏儀的基本原理與結構

    氦質譜檢漏儀的基本原理與結構

    隨著科技的迅猛發展,氦質譜檢儀及其應用技術也在不斷發展和究善。各國的設備廠商相繼推出了多種類烈的氦質譜檢涮儀,廣泛應用丁航空航天,電力電子,汽車,醫藥等各個行業,綜觀Z新氦質譜檢漏儀的性能特點發現,氦質譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬Z程、等先進方向發展,這些特點很好地滿足了當前檢漏應用的需求,也極大地推動了氮質譜檢漏技術的不斷發展。

    氦質譜檢漏儀的基本原理與結構

    氦質譜檢漏儀一般由質譜管,真空系統和電子系統組成。其中質譜管包括離子源,質量分析器和離子檢測器; 真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質Z分析器,

    目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質Z分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現分離。

    離子檢測器的作用是手機質量分析器所選定的氦離子流并加以放大,再通過比對運算,得出泄漏率

    真空系統的作用是獲取質譜過程所需的真空,同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統的不同結構,檢漏儀分為常規系統和逆擴散兩種。常規系統多用于早期的氦質譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通,由被檢件泄入的氮氣首先到達質譜管被檢到,因而具有較高的靈敏度,但是會對質譜管有污染。逆擴散系統檢漏儀與常規系統相比,被檢件只與低真空相通,因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏,氦氣是逆擴散到質譜管,不會對系統有污染,因此被廣泛采用,已成為市場的主流產品。

    機械泵的工作方式不一樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀,油泵工作會有油霧排出,污染工作環境,干泵沒有油霧排出對工作環境沒有影響。在半導體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。


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